Üst düzey metal silikon nitrür

Silikon nitrürİnce filmler yoğun yapıya, yüksek mukavemete ve iyi aşınma direncine sahiptir ve MEMS cihazlarında yapısal bileşenler olarak kullanılabilir. Young modülü ve silikon nitrür filmlerinin sertliği PECVD yöntemi ile test edildi ve biriktirme sıcaklığı ve reaksiyon gazı akış oranının Young modülü üzerindeki etkileri ve filmlerin sertliği analiz edildi. Silikon nitrür filmi, RF MEMS anahtarlarını üretmek için bir süspansiyon ışını olarak kullanıldı.

1.Silikon nitrürSeramikler, geniş gelişim beklentileri ile yüksek sıcaklık ve yüksek mukavemetli yapısal seramiklerdir. Yüksek performansa sahiptir (yüksek mukavemet, iyi termal şok stabilitesi, yüksek yorgunluk tokluğu, oda sıcaklığında yüksek bükülme mukavemeti, aşınma direnci, oksidasyon direnci, korozyon direnci vb.) Ve yaşamın her kesiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Silikon nitrür hazırlama yöntemleri esas olarak reaksiyon sinterleme (RS), sıcak basınç sinterleme (HPS), atmosferik basınç sinterleme (PLS) ve pnömatik basınç sinterleme (GPS) içerir. Şu anda asıl sorun, silikon nitrür seramik ürünlerinin düşük tokluğa ve yüksek maliyete sahip olmasıdır. Gelecekte, daha iyi silikon nitrür seramikleri geliştirmek için öğütme, kalıplama ve sinterleme işlemlerini ve silikon nitrür ve silikon karbürün birleştirilmesini geliştirmek gerekir.

Popüler Etiketler: Üst düzey metal silikon nitrür, Çin yüksek seviyeli metal silikon nitrür üreticileri, tedarikçiler, fabrika